上海梓梦科技有限公司
CMP粒形分析仪
首页 产品中心 半导体 CMP粒形分析仪/M3000 CMP粒形分析仪

CMP粒形分析仪

产品介绍：粒形分析仪是采用动态图像法原理设计生产的颗粒计数器，其主要的功能是用来测试CMPSlurry药液中颗粒数量、颗粒形状、不同形状颗粒的数量浓度等，如二氧化硅、氧化铈、氧化铝等药液。M3000型号产品完全可以查看任意通道颗粒的数量，如1μm、2μm、5μm等颗粒浓度。不同形状的颗粒对抛光效果和良率有明显差异，粒形
联系我们
相关推荐
质谱(EC–MS) 药物代谢电化学模拟系统
显微计数法不溶性微粒仪ZM-MIP 01Z
ZM-100A两用澄清度检查/可见异物伞棚灯
  • 品种介绍
  • 技术规格

产品介绍：粒形分析仪是采用动态图像法原理设计生产的颗粒计数器，其主要的功能是用来测试CMP Slurry药液中颗粒数量、颗粒形状、不同形状颗粒的数量浓度等，如二氧化硅、氧化铈、氧化铝等药液。M3000型号产品完全可以查看任意通道颗粒的数量，如1μm、2μm、5μm等颗粒浓度。

不同形状的颗粒对抛光效果和良率有明显差异，粒形的控制是Slurry生产过程需要控制的重要参数。

设备原理：流式图像法

测试范围：0.5μm-1000μm

通道数：1024个数据通道

产品功能：颗粒计数、粒度分布、测试数量浓度、颗粒形状分析

检测方式：离线或在线

全自动稀释，无需人工稀释

用于CMP Slurry中颗粒浓度检测

球形度数据
顿度数据

小结：

1）颗粒的球形度对CMP抛光效率有影响

2）颗粒的顿度对CMP抛光良率有很大影响，顿度越大良率受影响越大

网站首页 产品中心 应用案例 下载中心 新闻中心 关于我们
400-8810-898 19916533110 info@z-dream.cn
上海市浦东新区宣秋路139号1号楼
版权所有 © 上海梓梦科技有限公司 Powered by WORMCMS ©2012-2025
沪ICP备2021004083号-2 |
  未经许可严禁复制
公众号