产品介绍:大颗粒计数分析仪是采用光阻法原理设计生产的颗粒计数器,其主要的功能是用来测试CMP Slurry药液中颗粒数量等,如二氧化硅、氧化铈、氧化铝等药液。ZM-02产品完全可以按照要求查看任意通道颗粒的数量,如1μm、2μm、5μm等。
设备原理:光阻法
产品功能:颗粒计数、粒度分布、测试数量浓度

检测方式:离线或在线
数据通道: 1024个
自定义通道: 64个
数据浓度上限可达1x 10
检测范围广,0.5μm - 400μm
模块化设计,便于升级及维护
用于CMP Slurry中颗粒浓度检测
全自动进样、自动稀释、自动检测、自动清洗、数据分析